力学量测定装置
摘要:
本发明的目的在于提供一种应变传感器模块构造,抑制由于在应变传感器模块的电气配线用部件等中使用的树脂部件的吸湿引起的传感器输出变动,应变测量精度优异。力学量测定装置的特征在于,具有:应变传感器,其在半导体基板的表面形成有多个压电电阻元件和电极垫;电气配线用树脂部件,其具备与多个所述电极垫电连接的多个配线;变形体,其与所述应变传感器的背面接合;以及粘接部,其将所述电气配线用树脂部件和所述变形体粘合,在所述电气配线用树脂部件的应变传感器附近区域设置有槽。
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