发明公开

弹性波装置
摘要:
提供一种难以产生压电基板的翘曲、且难以产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支撑基板(2)、被设置于支撑基板(2)上的声多层膜(3)、被设置于声多层膜(3)上的压电基板(4)、和被设置于压电基板(4)上的IDT电极(5),压电基板(4)的热膨胀系数的绝对值大于支撑基板(2)的热膨胀系数的绝对值,声多层膜(3)具有至少4层的声阻抗层,还具备接合层,该接合层被设置在从压电基板(4)侧向支撑基板(2)侧的第1层的声阻抗层(3g)中至第3层的声阻抗层(3e)与第4层的声阻抗层(3d)的界面为止的任意的位置。
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