- 专利标题: 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法
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申请号: CN201711098310.1申请日: 2017-11-09
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公开(公告)号: CN108036720B公开(公告)日: 2019-10-18
- 发明人: 唐锋 , 王向朝 , 卢云君 , 张国先 , 冯鹏
- 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址: 上海市嘉定区清河路390号
- 专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区清河路390号
- 代理机构: 上海恒慧知识产权代理事务所
- 代理商 张宁展
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00
摘要:
一种精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法,测量装置包括波面测量干涉仪、待测精密转台和反射球面光学元件;所述的反射球面光学元件安装在待测精密转台上,待测精密转台的旋转轴通过反射球面光学元件的标准球面的曲率中心;通过波面测量干涉仪测量结果是Fringe Zernike多项式第Z2(X倾斜)、Z3(Y倾斜),和Z4(离焦)项的系数,计算反射球面光学元件曲率中心与波面测量干涉仪输出球面光波的汇聚中心间的偏离,精确得到待测精密转台轴向与径向跳动。本发明具有装置结构简单、操作方便、测量精度不依赖于标准样品精度的优点。
公开/授权文献
- CN108036720A 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法 公开/授权日:2018-05-15