一种高精度曲线传动测量系统
Abstract:
本发明公开一种高精度曲线传动测量系统,包括传动单元、真空密封单元、运动控制单元以及测量单元。所述的传动单元包括导轨、滑块、小车、传动杆、电缸、支撑机构;导轨上放置有若干节小车,第一节小车的前端安装有传感器;所述的真空密封单元包括插板阀、真空腔、真空密封机构;传动杆和导轨贯穿真空密封单元,连接小车和电缸;所述的运动控制单元包括伺服电机、减速机、电机驱动、光栅尺及实时控制器、限位开关;控制器通过电机驱动伺服电机,经减速机带动电缸运动,光栅尺参与位置反馈,限位开关做保护;所述的测量单元包括传感器及相应的信号采集处理设备。本发明在真空环境中采用曲线传动,实现真空内部或其它受限空间的高精度运动和测量。
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