发明授权
- 专利标题: 抛光机台废水收集槽
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申请号: CN201711153761.0申请日: 2017-11-20
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公开(公告)号: CN108044479B公开(公告)日: 2019-11-19
- 发明人: 何文蔚 , 张旭升 , 朱骏 , 许青峰 , 孙新光
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区高斯路568号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 王江富
- 主分类号: B24B29/00
- IPC分类号: B24B29/00 ; B24B55/03
摘要:
本发明公开了一种抛光机台废水收集槽,采用两个箱体,两个箱体上部通过溢水连通管连通;当连通到第一箱体的透明水位管内的水位高于高水位光传感器时,如果透明水位管的内壁过脏高水位光传感器无法侦测到水位,第一箱体内的废水水位会持续上升,通过溢水连通管进入到第二箱体,当第二箱体内水位高于浮球传感器时,第二抽水泵会开始工作将第二箱体内的废水排出。由于机械式的浮球传感器不会因水脏等原因而无法检测到水位,第二箱体内的废水会及时排出,保证第一箱体内的废水能通过溢出口及时排出,避免费水从第一箱体顶盖上的观察窗溢出,有效提高废水槽工作的安全性。
公开/授权文献
- CN108044479A 抛光机台废水收集槽 公开/授权日:2018-05-18