发明授权
- 专利标题: 鳍式场效应管的形成方法
-
申请号: CN201610980549.0申请日: 2016-11-08
-
公开(公告)号: CN108063092B公开(公告)日: 2019-12-03
- 发明人: 常荣耀 , 王彦
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 高静; 吴敏
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336
摘要:
一种鳍式场效应管的形成方法,包括:在第一隔离层顶部形成具有开口的停止层,开口底部暴露出所述第二隔离层顶部;在开口侧壁上形成保护层;在保护层上形成填充满所述开口的第三隔离层,且第三隔离层的材料与所述保护层的材料不同;去除所述停止层;回刻蚀去除部分厚度的第一隔离层以及第三隔离层,回刻蚀工艺对第三隔离层的刻蚀速率大于对保护层的刻蚀速率;在所述相邻第一鳍部之间以及相邻第二鳍部之间的第一隔离结构上分别形成栅极,所述栅极横跨所述第一鳍部和第二鳍部,且覆盖所述第一鳍部和第二鳍部的部分顶部和侧壁;在所述第二隔离结构上形成伪栅。本发明提高形成的第二隔离结构的性能,从而改善形成的鳍式场效应管的电学性能。
公开/授权文献
- CN108063092A 鳍式场效应管的形成方法 公开/授权日:2018-05-22
IPC分类: