一种用于真空镀膜的螺杆传送装置
摘要:
本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置,包括:样品台,与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合;传送模块,安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区;动力源,固定在真空镀膜腔体外部;第一传动连接件,一端与所述动力源连接,另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接;其特征在于,所述传送模块包括:螺杆,转动安装在所述样品台上,所述螺杆的螺纹作为物料槽;光杆,安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料;第二传动连接件,一端与所述螺杆传动连接,另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接;本发明可实现一次多面镀膜,无需翻面,减少开箱和再次抽真空时间,大大提高了效率,且整体结构简单、加工成本低。
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