发明公开
- 专利标题: 一种用于真空镀膜的螺杆传送装置
- 专利标题(英): Screw conveying device for vacuum coating
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申请号: CN201711219101.8申请日: 2017-11-28
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公开(公告)号: CN108085647A公开(公告)日: 2018-05-29
- 发明人: 宋振纶 , 胡方勤 , 丁雪峰 , 杨丽景 , 郑必长 , 张青科 , 姜建军
- 申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司 , 包头希迪瑞科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司,包头希迪瑞科技有限公司
- 当前专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司,包头希迪瑞科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- 代理商 徐敏
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32 ; C23C14/50
摘要:
本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置,包括:样品台,与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合;传送模块,安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区;动力源,固定在真空镀膜腔体外部;第一传动连接件,一端与所述动力源连接,另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接;其特征在于,所述传送模块包括:螺杆,转动安装在所述样品台上,所述螺杆的螺纹作为物料槽;光杆,安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料;第二传动连接件,一端与所述螺杆传动连接,另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接;本发明可实现一次多面镀膜,无需翻面,减少开箱和再次抽真空时间,大大提高了效率,且整体结构简单、加工成本低。
公开/授权文献
- CN108085647B 一种用于真空镀膜的螺杆传送装置 公开/授权日:2019-10-15
IPC分类: