针状试片、其制备方法以及其分析方法
摘要:
本发明涉及一种针状试片、其制备方法以及其分析方法。针状试片包括衬底、组件层以及散热层。组件层配置于衬底上,包括感兴趣区域。散热层覆盖衬底与组件层的暴露表面,散热层的热导率大于衬底的热导率。
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