摘要:
本发明提供了一种气体在材料表面吸附和脱附率测量系统及测量方法,该测量系统包括压强控制箱、抽气系统、待测气体供应系统和可控温QCM测量系统;抽气系统和待测气体供应系统分别通过气体穿舱法兰与压强控制箱连通;可控温QCM测量系统通过QCM穿舱法兰与压强控制箱连接,可控温QCM测量系统包括QCM探头、QCM信号处理器和冷却机,QCM探头中的表面晶片镀有待测金属材料,冷却机通过冷却管路连接QCM探头,用以控制表面晶片的温度,利用该测量系统能够实现在低温、低压条件下气体在材料表面吸附和脱附率的精确测量。该测量方法为利用上述测量系统的测量方法。
公开/授权文献
- CN108152456A 气体在材料表面吸附和脱附率测量系统及测量方法 公开/授权日:2018-06-12