一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
摘要:
本发明提出了一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置,采用空间光束柔性传输技术,对大幅面复杂图案进行激光制造,主要包括:规划光束空间扫描路径,进行光束空间扫描,根据扫描结果,由传输定位运动平台控制构件在空间中运动,对光斑位置进行准确定位;将激光扫描速度和激光脉冲关联,扫描速度越快,激光脉冲个数越多,通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造;通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制,由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程,在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步,通过CMOS相机监控光束角度偏差,角度偏差经过反射镜,由光束位置检测器检测光束偏转角度;根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。
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