发明授权
- 专利标题: 一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
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申请号: CN201810131547.3申请日: 2018-02-09
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公开(公告)号: CN108169895B公开(公告)日: 2019-06-28
- 发明人: 李明
- 申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
- 专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
- 主分类号: G02B26/08
- IPC分类号: G02B26/08
摘要:
本发明提出了一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置,采用空间光束柔性传输技术,对大幅面复杂图案进行激光制造,主要包括:规划光束空间扫描路径,进行光束空间扫描,根据扫描结果,由传输定位运动平台控制构件在空间中运动,对光斑位置进行准确定位;将激光扫描速度和激光脉冲关联,扫描速度越快,激光脉冲个数越多,通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造;通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制,由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程,在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步,通过CMOS相机监控光束角度偏差,角度偏差经过反射镜,由光束位置检测器检测光束偏转角度;根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。
公开/授权文献
- CN108169895A 一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置 公开/授权日:2018-06-15