发明授权
CN108172660B CZTS太阳能电池制作方法
失效 - 权利终止
摘要:
本发明提供了一种CZTS太阳能电池制作方法,包括以下步骤:(A)清洗衬底;(B)溅射背电极层;(C)按Cu原子数:Zn+Sn原子数为0.6~0.95以及Zn原子数:Sn原子数为0.7~1.3的比例共溅射制作前躯体层;(D)将含有该前躯体层的基片置于570~630℃的惰性气体氛围内进行硫化处理,得到CZTS薄膜;(E)用磁控溅射加热含该CZTS薄膜的基片至400~500℃温度,并且在该CZTS薄膜上溅射厚度为25~45nm的CdS缓冲层,并使含该CdS缓冲层的基片在400~500℃的温度下热处理5~15分钟;(F)制作30~80nm的本征氧化锌层;(G)制作300~500nm的掺铝氧化锌层;(H)制作1~3μm的栅电极层。该方法具有制作流程简单,可以大幅提高电池吸收层组分的均匀性、二极管品质因子和转换效率的优点。
公开/授权文献
- CN108172660A CZTS太阳能电池制作方法 公开/授权日:2018-06-15
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