一种用于彩膜基板修复的激光输出形状控制系统及其方法
摘要:
本发明公开一种用于彩膜基板修复的激光输出形状控制系统,包括激光狭缝自控装置,用于根据彩膜基板的黑矩阵膜层上的光刻胶残留类缺陷大小及形状来调整激光发射单元的激光输出范围;激光掩膜自动切换装置,位于所述激光狭缝自控装置下方,且用于将适配于所述黑矩阵膜层上的开口部的子激光掩膜移动至对应于所述激光狭缝自控装置的狭缝位置;其中,所述子激光掩膜上设置有与所述黑矩阵膜层上的开口部匹配的通光孔。本发明能够显著提高彩膜黑矩阵膜层的修复效率及彩膜黑矩阵膜层的良率。
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