流体分配装置
摘要:
本发明提供一种流体分配装置,包括:本体,包括基底壁、内部周边壁,基底壁具有外部基底表面,内部周边壁具有周边端部表面且从基底壁延伸以界定腔室;喷射芯片,安装到本体的芯片安装表面,其中芯片安装表面界定第一平面;膜片,与腔室的周边端部表面接合;以及盖,附装到本体,其中膜片夹置在盖与本体之间,本体及盖在盖与本体的接合处界定裂缝。通过上述结构,裂缝被定位成远离芯片安装表面及流体通道,以使制造后问题最小化。
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