本发明提供了一种光刻机的像质检测方法。所述方法包括：提供晶圆，在所述晶圆的表面上形成有若干相互间隔的孔洞图案；对所述孔洞图案进行缺陷扫描，以得到缺陷图像；对所述缺陷图像进行分析，以判断所述缺陷图像是否存在异常来定期监测光刻机镜头的成像平面是否发生异常。本发明中所述方法可以提高监测的频率，不需要停止(down)机台，减少监测所耗费的时间，并且这种检测方法具有较高的灵敏度,可以在光刻机的成像平面发生异常的初期及时的发现问题，避免产品量率的损失。