一种混合气体浓度实时监控系统
Abstract:
本发明提供了一种混合气体浓度实时监控系统,包括至少两个质量流量控制模块、混合模块、增压模块、检测模块和比例控制模块,质量流量控制模块输出不同质量流量的气体,混合模块将各个质量流量控制模块输出的不同质量流量的气体进行混合,增压模块将混合气体进行增压,检测模块检测增压后的混合气体的浓度,比例控制模块判断混合气体的浓度是否满足设定浓度,并在不满足设定浓度时,下达控制命令给质量流量控制模块,可以实现配制过程中对混合气体的浓度进行实时监控,提高了混合气体的配制精度,而且避免了环境污染。
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