发明公开
- 专利标题: 中介层的制造方法
- 专利标题(英): Interposer manufacturing method
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申请号: CN201711225182.2申请日: 2017-11-29
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公开(公告)号: CN108231569A公开(公告)日: 2018-06-29
- 发明人: 铃木克彦
- 申请人: 株式会社迪思科
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 于靖帅; 乔婉
- 优先权: 2016-242235 20161214 JP
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304
摘要:
提供中介层的制造方法,能够提高使用了玻璃基板的中介层的耐热性。一种中介层的制造方法,从材料基板制造出多个中介层,该材料基板具有玻璃基板和层叠体,其中,该玻璃基板被呈格子状设定的多条分割预定线划分成多个区域,该层叠体层叠在该玻璃基板的第1面或与该第1面相反的一侧的第2面上,并且该层叠体包含绝缘层和配线层,该中介层的制造方法的特征在于,包含如下的工序:切削槽形成工序,使第1切削刀具沿着分割预定线切入层叠体的露出面,在层叠体中形成未到达玻璃基板的深度的切削槽;以及分割工序,使宽度比切削槽窄的第2切削刀具沿着切削槽切入玻璃基板,对玻璃基板进行分割而制造出多个中介层。
公开/授权文献
- CN108231569B 中介层的制造方法 公开/授权日:2023-01-10
IPC分类: