一种门极换流晶闸管及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种门极换流晶闸管及其制备方法。本发明的晶闸管的层状结构竖直方向自下而上依次为P+透明发射阳极、N′缓冲层、N‑基区、P基区、P+基区以及半埋于P+基区顶部的N+发射区,其中:所述N+发射区覆盖所述P+基区顶部的一部分;门极G位于所述P+基区顶部所述N+发射区没有覆盖的部分上;所述P+基区包含水平并排的P1+短基区以及P2+短基区,其中,所述P1+短基区位于所述门极G正下方,所述P2+短基区位于所述N+发射区正下方,所述P1+短基区的掺杂浓度低于所述P2+短基区的掺杂浓度。相较于现有技术,本发明不仅提高GCT关断电流能力,并降低关断能量;而且降低了GCT触发电流,保持了GCT低通态压降的优势。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/74 ....晶闸管型器件,如具有四区再生作用的
H01L29/744 .....栅极关断型器件
H01L29/745 ......由场效应关断的
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