一种用于电子束封装的真空运输罐
Abstract:
本发明属于真空器件设计技术领域,具体涉及一种用于电子束封装的真空运输罐。本发明包括真空罐本体、真空罐盖、真空罐基座、支撑柱、试样杯、紧固机构、阀门与抽气管、和开启机构、直线轴承件和密封圈。本发明设计简洁可靠,便于操作,真空罐本体采用螺栓及橡胶圈密封并抽真空,能够实现样品的良好保护不被氧化,并且极大的方便真空封装材料在电子束焊接时打开的问题,节约了操作成本。
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