发明授权
摘要：
本发明涉及形状测量装置和移动机构。三维测量仪(形状测量装置)具有：工作台(3(第1构件))和立柱(41(第2构件))，其在预定的移动方向上相对移动；引导面(31)，其形成于工作台(3)，并具有在移动方向上延伸且互相平行的引导区域(311)和驱动区域(312)；空气垫(11)，其形成于立柱(41)，并与引导区域(311)相对；以及驱动辊(19)，其形成于立柱(41)，并在驱动区域(312)滚动。
公开/授权文献
- CN108278957A 形状测量装置和移动机构 公开/授权日：2018-07-13
