发明授权
- 专利标题: ESD器件结构
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申请号: CN201810071115.8申请日: 2018-01-25
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公开(公告)号: CN108281420B公开(公告)日: 2021-06-08
- 发明人: 邓樟鹏 , 苏庆 , 韦敏侠
- 申请人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 焦天雷
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02
摘要:
本发明公开了一种ESD器件结构,包括:第一P‑LDMOS、第二P‑LDMOS和寄生SCR;所述第一P‑LDMOS和第二P‑LDMOS共用高压P阱(HVPW),在第一P‑LDMOS漏极和第二P‑LDMOS漏极之间的高压P阱(HVPW)中设置N+区域形成的寄生SCR,所述第一P‑LDMOS和第二P‑LDMOS结构相同,以寄生SCR的N+区域为中心形成左右非对称结构。本发明能提高器件开启后的ESD能力,又能提高器件维持电压和电流,减小ESD器件的latch‑up风险的。
公开/授权文献
- CN108281420A ESD器件结构 公开/授权日:2018-07-13
IPC分类: