氮化硅的制备方法
摘要:
本发明提供一种氮化硅的制备方法,该制备方法包括:预热原料卤化硅和/或氢卤化硅和/或硅烷至第一温度,形成第一反应流体;预热原料氮气和/或氨气至第二温度,形成第二反应流体;将第一反应流体以第一流速、第二反应流体以第二流速输入流化反应装置,调节第一流速、第二流速使流化反应装置中所得混合流体达到第三温度,卤化硅和/或氢卤化硅和/或硅烷、氮气和/或氨气于该第三温度下反应,获得氮化硅;第一温度小于第三温度,第三温度小于第二温度。反应温度调控灵活、调节快速精准,能够将混合流体温度控制在严格特定温度区间,从而仅生成该特定温度区间对应的氮化硅类型,不会出现不同相氮化硅的混合,纯度极高;瞬间反应,生产速度快。
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