层积体、阻气膜及其制造方法
摘要:
一种层积体(1),其具有:基材(2),在所述基材(2)的外面的至少一部分上形成、含有具有官能团的有机高分子、且以膜或薄膜形状形成的底涂层(3),以及含有成为原料的前体(6)、以覆盖所述底涂层(3)的表面的方式形成、且所述前体(6)的至少一部分键合于所述官能团的原子层沉积膜(4),其中,具有所述基材(2)和所述底涂层(3)的层状薄膜的线膨胀系数为1.0×10-5/K以上8.0×10-5/K以下。
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