Invention Publication
- Patent Title: 一种三端口碳化硅基功率器件界面态测试方法
- Patent Title (English): Method for testing interface state of three-port silicon carbide based power device
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Application No.: CN201711326839.4Application Date: 2017-12-12
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Publication No.: CN108318796APublication Date: 2018-07-24
- Inventor: 孙伟锋 , 方炅 , 魏家行 , 徐志远 , 李智超 , 刘斯扬 , 陆生礼 , 时龙兴
- Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
- Applicant Address: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- Assignee: 东南大学,东南大学—无锡集成电路技术研究所
- Current Assignee: 东南大学,东南大学—无锡集成电路技术研究所
- Current Assignee Address: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- Agency: 南京苏高专利商标事务所
- Agent 柏尚春
- Main IPC: G01R31/26
- IPC: G01R31/26

Abstract:
一种三端口碳化硅基功率器件界面态测试方法,这种方法可以简单快速的提取三端口碳化硅基功率器件结型场效应区与栅氧层界面处的平均界面态密度,通过在三端口碳化硅基功率器件的栅极外接频率和幅值固定而基压V0变化的脉冲电压或频率和基压V0固定而幅值Vp变化的脉冲电压、源极外接反偏电压的负极、漏极外接反偏电压的正极、漏极外接电流表探测电流且电流表串接于漏极、电压源、源极组成的回路中,可以得到一条电流电压曲线,由电流电压曲线的峰值电流通过公式计算即可得到界面态沿结型场效应区上方的平均分布,同时,通过对比应力前后的测试曲线可判断器件结型场效应区与沟道区上方的栅氧层界面在应力作用下的退化情况。
Public/Granted literature
- CN108318796B 一种三端口碳化硅基功率器件界面态测试方法 Public/Granted day:2020-04-10
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