一种沟槽栅电荷存储型IGBT及其制作方法
摘要:
一种沟槽栅电荷存储型IGBT,属于半导体功率器件技术领域。本发明通过在传统CSTBT器件结构的基础上引入了与发射极金属等电位的屏蔽沟槽结构,并使其槽深大于电荷存储层,以此来屏蔽电荷存储层的电场,屏蔽沟槽结构的引入对电荷存储层起到了有效的电荷补偿作用,进而改善了电荷存储层的掺杂浓度和厚度对于器件耐压的限制,提高了器件的击穿电压;有利于改善器件正向导通压降Vceon与关断损耗Eoff之间的折中关系,获得更宽的短路安全工作区,同时有利于降低器件的饱和电流密度,进一步改善了器件短路安全工作区;另外,本发明显著降低了器件的栅极电容,尤其是栅极‑集电极电容,从而提高了器件的开关速度,降低了器件的开关损耗和对删驱动电路能力的要求。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/739 .....受场效应控制的
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