用于定向自组装的高弗洛里赫金斯参数嵌段聚合物及无规聚合物及其制备方法和自组装方法
摘要:
本发明高分子化合物合成与应用,具体地,本发明涉及可用于定向自组装的具有高弗洛里赫金斯参数χ的嵌段聚合物及无规聚合物及其制备方法和自组装方法。嵌段聚合物通过阴离子聚合得到,嵌段之间弗洛里赫金斯参数(Flory-Huggins)极大,且相容性极低;无规聚合物由所述嵌段聚合物的单体和环氧甲基丙烯酸酯类单体通过自由基聚合得到,该类无规聚合物对上述嵌段聚合物的嵌段呈中性。本发明的嵌段聚合物,涂布于交联后的无规聚合物中性层上后经过退火热处理就能形成垂直于基片的相分离结构,生产效率提高;且能形成20nm以下尺寸范围的图案;同时,本发明提供的嵌段聚合物和无规聚合物应用于微电子领域图案的转以上,降低了其工艺要求及生产成本。
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