提供精确坐标测量的方法、独立基准模块和坐标测量机。本发明涉及补偿坐标测量机中的误差的方法，该坐标测量机适于确定待测量物体上的测量点的至少一个空间坐标，所述坐标测量机包括：基部；用于接近所述测量点的探头；用于将所述探头连接至所述基部的机器结构，所述机器结构包括至少一个第一结构性部件和至少一个驱动机构，所述至少一个驱动机构可移动地连接所述基部和所述第一结构性部件，以提供所述探头相对于所述基部的可移动性；基准模块，该基准模块包括至少一个第一机械基准元件和分配给第一基准元件的至少一个第一传感器单元；以及适于执行建模功能的控制和处理单元。