Invention Publication
CN108356412A 激光加工装置
无效 - 撤回
- Patent Title: 激光加工装置
- Patent Title (English): LASER PROCESSING APPARATUS
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Application No.: CN201810048475.6Application Date: 2018-01-18
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Publication No.: CN108356412APublication Date: 2018-08-03
- Inventor: 伴祐人 , 吉田侑太 , 小田中健太郎
- Applicant: 株式会社迪思科
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社迪思科
- Current Assignee: 株式会社迪思科
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 于靖帅; 乔婉
- Priority: 2017-010343 2017.01.24 JP
- Main IPC: B23K26/20
- IPC: B23K26/20 ; B23K26/362 ; B23K26/53

Abstract:
提供激光加工装置,能够对被加工物的所有的分割预定线适当地形成贯通槽。该激光加工装置具有:卡盘工作台(10),其对封装晶片(201)进行保持;激光光线照射单元(20),其对封装晶片(201)照射脉冲激光光线;X轴移动构件(30),其使卡盘工作台(10)在X轴方向上移动;拍摄单元(50),其对封装晶片(201)进行拍摄;以及控制单元(60)。卡盘工作台(10)包含透明或半透明的保持部件(11)和发光体。控制单元(60)具有:拍摄指示部(61),其在封装晶片(201)被照射脉冲激光光线而形成贯通槽的同时使拍摄单元(50)对封装晶片(201)进行拍摄;以及判定部(62),其根据由拍摄指示部(61)的指示而得到的拍摄图像对贯通槽的加工状态进行判定。
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