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激光加工装置
Abstract:
提供激光加工装置,能够对被加工物的所有的分割预定线适当地形成贯通槽。该激光加工装置具有:卡盘工作台(10),其对封装晶片(201)进行保持;激光光线照射单元(20),其对封装晶片(201)照射脉冲激光光线;X轴移动构件(30),其使卡盘工作台(10)在X轴方向上移动;拍摄单元(50),其对封装晶片(201)进行拍摄;以及控制单元(60)。卡盘工作台(10)包含透明或半透明的保持部件(11)和发光体。控制单元(60)具有:拍摄指示部(61),其在封装晶片(201)被照射脉冲激光光线而形成贯通槽的同时使拍摄单元(50)对封装晶片(201)进行拍摄;以及判定部(62),其根据由拍摄指示部(61)的指示而得到的拍摄图像对贯通槽的加工状态进行判定。
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