掩膜板及其制作方法、蒸镀方法
摘要:
本发明实施例提供一种掩膜板及其制作方法、蒸镀方法。该掩膜板包括:掩膜板本体,采用能够被磁体吸附的金属材料制成;所述掩膜板本体的第一表面包括设置有多个开孔的开孔设置区域,且在第一表面上,所述掩膜板本体的边缘与开孔设置区域之间设置有第一凹槽;磁隔离层,采用不能够被磁体吸附的材料制成,磁隔离层设置在所述掩膜板本体的边缘与所述开孔设置区域之间,且至少部分填充在所述第一凹槽中。本发明通过在掩膜板本体的边缘处设置凹槽,且凹槽内填充磁隔离层,相较于现有技术,能够减小边缘处的磁性吸附力,中间开孔区域的褶皱能够顺利向边缘扩展,避免产生褶皱堆积,从而达到避免掩膜板褶皱的问题。
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