- 专利标题： 用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统
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申请号： CN201680061755.X申请日： 2016-08-18
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公开(公告)号： CN108368637B公开(公告)日： 2023-03-03
- 发明人: S·M·尹 , S·S·朴 , J·H·智 , W-J·崔 , U·郑 , Y·J·李 , T·S·具 , S-J·金
- 申请人： 环球晶圆股份有限公司 , 达维克国际有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹市科学工业园区工业东二路8号;
- 专利权人： 环球晶圆股份有限公司,达维克国际有限公司
- 当前专利权人： 环球晶圆股份有限公司,达维克国际有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹市科学工业园区工业东二路8号;
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 秘凤华; 吴鹏
- 优先权： 62/207,773 20150820 US
- 国际申请： PCT/US2016/047575 2016.08.18
- 国际公布： WO2017/031328 EN 2017.02.23
- 进入国家日期： 2018-04-20
- 主分类号： C30B15/02
- IPC分类号： C30B15/02 ; C30B29/06
摘要：
本发明涉及一种进给组件，其为用于由熔体生长晶锭的生长室供给多晶硅。一种示例性系统包括壳体，该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道，和位于支承轨道上方以选择性地进给颗粒托盘和块体托盘中的一者的进料储器。还公开了一种阀机构和脉冲振动器。
公开/授权文献
- CN108368637A 用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统 公开/授权日：2018-08-03