用于微机电系统继电器电路的辅助电路
Abstract:
一种切换系统包括具有MEMS开关和驱动器电路的MEMS切换电路。辅助电路与MEMS切换电路并联耦合,辅助电路包括:在MEMS开关的相对侧上将辅助电路连接到MEMS切换电路的第一和第二连接、并联连接的第一和第二固态开关、以及在第一和第二固态开关之间连接的谐振电路。通过选择性地激活第一和第二固态开关以及谐振电路,控制电路控制负载电流朝向MEMS切换电路和辅助电路的选择性切换,以便通过在MEMS开关改变状态之前将负载电流的至少一部分远离MEMS开关转向以流动到辅助电路来限制MEMS开关两端之间的电压。
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