用于生成大气压等离子体的方法

Invention Grant

Abstract:

本发明涉及一种用于生成大气压等离子体的装置（11），其具有压电变换器（1）和第一支撑元件（22），压电变换器（1）在以下位置处安置于第一支撑元件上，当该压电变换器（1）以小于其并联谐振频率的运行频率运行并且压电变换器（1）用于生成非热大气压等离子体时，在该位置上形成振荡节点。

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L41/00	一般压电器件；一般电致伸缩器件；一般磁致伸缩器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备；这些器件的零部件(由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L41/08	.压电器件或电致伸缩器件
H01L41/107	..带有电输入与电输出的