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一种真空镀膜设备
摘要:
本发明公开了一种真空镀膜设备,包括:真空腔,真空腔的一端为电弧离子镀膜区,另一端为磁控溅射镀膜区,电弧离子镀膜区与磁控溅射镀膜区连通;卷绕系统,包括正面电弧离子镀膜辊、反面电弧离子镀膜辊、反面磁控溅射镀膜辊、正面磁控溅射镀膜辊;镀件依次经过正面电弧离子镀膜辊、反面电弧离子镀膜辊、反面磁控溅射镀膜辊、正面磁控溅射镀膜辊;电弧离子靶组件,数量为两组,一组在正面电弧离子镀膜辊旁且朝向镀件正面,另一组在反面电弧离子镀膜辊旁且朝向镀件反面;磁控溅射靶组件,数量为两组,一组在正面磁控溅射镀膜辊旁且朝向镀件正面,另一组在反面磁控溅射镀膜辊旁且朝向镀件反面。具有更高的效率。本发明应用于镀膜领域。
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