发明授权
CN108374150B 一种真空镀膜设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种真空镀膜设备
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申请号: CN201810457470.9申请日: 2018-05-14
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公开(公告)号: CN108374150B公开(公告)日: 2020-02-14
- 发明人: 李纲 , 华冬辉 , 罗立珍 , 郑启发
- 申请人: 湖南菲尔姆真空设备有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市宁乡县金洲新区金洲北路098号
- 专利权人: 湖南菲尔姆真空设备有限公司
- 当前专利权人: 湖南菲尔姆真空设备有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市宁乡县金洲新区金洲北路098号
- 代理机构: 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理商 伍传松
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32 ; C23C14/35 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种真空镀膜设备,包括:真空腔,真空腔的一端为电弧离子镀膜区,另一端为磁控溅射镀膜区,电弧离子镀膜区与磁控溅射镀膜区连通;卷绕系统,包括正面电弧离子镀膜辊、反面电弧离子镀膜辊、反面磁控溅射镀膜辊、正面磁控溅射镀膜辊;镀件依次经过正面电弧离子镀膜辊、反面电弧离子镀膜辊、反面磁控溅射镀膜辊、正面磁控溅射镀膜辊;电弧离子靶组件,数量为两组,一组在正面电弧离子镀膜辊旁且朝向镀件正面,另一组在反面电弧离子镀膜辊旁且朝向镀件反面;磁控溅射靶组件,数量为两组,一组在正面磁控溅射镀膜辊旁且朝向镀件正面,另一组在反面磁控溅射镀膜辊旁且朝向镀件反面。具有更高的效率。本发明应用于镀膜领域。
公开/授权文献
- CN108374150A 一种真空镀膜设备 公开/授权日:2018-08-07
IPC分类: