本发明公开了一种抗微动磨损与耐腐蚀一体化TiAlN/CuNiIn/Cr多层复合薄膜及其制备方法，多层复合薄膜包括基片，基片上设有多层调制单元层，多层调制单元层经过交替循环沉积形成周期排列，每层调制单元层包括自下而上由Cr层、CuNiIn层与TiAlN层。制备方法包括预处理、溅射清洗、金属Cr层制备、CuNiIn层制备等步骤，经过多次周期性循环交替沉积后，膜层总厚度为1～45μm。具有优良的抗高温氧化、抗高温微动损伤、优异的耐腐蚀与强韧一体化功能特性，可用于航空发动机传动轴花键表面抗微动磨损与耐腐蚀防护，还可作为轴承、齿轮、刀具等部件表面的抗微动磨损与耐腐蚀防护涂层。