发明公开
CN108398858A 一种气体隔离装置及隔离方法
失效 - 权利终止
摘要:
本发明公开了一种气体隔离装置及隔离方法,用于抑制低清洁腔室中的污染物向高清洁腔室的扩散。所述气体隔离装置是一个两端开口的管道结构,其宽口端与高清洁腔室连接,窄口端与低清洁腔室连接。所述气体隔离装置一面侧壁上开有两层充气口,用于向隔离结构内充气;对面侧壁上开有一层抽气口,用于抽走隔离结构内的部分气体。本发明通过气流对污染物扩散的双重抑制作用以及气流对污染物的裹挟排除作用,更好的抑制了污染物的扩散。
公开/授权文献
- CN108398858B 一种气体隔离装置及隔离方法 公开/授权日:2019-05-10
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