一种红外透镜面形的真空低温测试装置及其测试方法
摘要:
本发明公开了一种红外透镜面形的真空低温测试装置及其测试方法,包括干涉仪、平行光管、真空罐、红外透镜组件、测试工装、载物台、光源平台、密封窗口、小孔光阑和千分表;平行光管与真空罐固连,真空罐中设有载物台,载物台上安装测试工装,红外透镜组件固连在测试工装上并对准平行光管轴线;平行光管通过密封窗口对准小孔光阑一侧,小孔光阑另一侧分别设有干涉仪和千分表,小孔光阑与光源平台固连。本发明通过干涉仪、平行光管、真空罐、红外透镜组件、测试工装、载物台、光源平台、密封窗口、小孔光阑和千分表的配合,去除了平行光管自身像质对测试结果的影响,提高了真空低温条件下红外透镜面形变化量的测试精度,弥补了传统测试设备的缺陷。
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