Invention Publication
- Patent Title: 共焦位移计
- Patent Title (English): CONFOCAL DISPLACEMENT METER
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Application No.: CN201680076163.5Application Date: 2016-12-21
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Publication No.: CN108474645APublication Date: 2018-08-31
- Inventor: 久我翔马
- Applicant: 株式会社基恩士
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 株式会社基恩士
- Current Assignee: 株式会社基恩士
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 北京格罗巴尔知识产权代理事务所
- Agent 孙德崇
- Priority: 2015-254807 2015.12.25 JP
- International Application: PCT/JP2016/088009 2016.12.21
- International Announcement: WO2017/110838 JA 2017.06.29
- Date entered country: 2018-06-25
- Main IPC: G01B11/00
- IPC: G01B11/00
Abstract:
提供一种能够容易且正确地测量测量对象的位移的共焦位移计。利用透镜单元(220)使具有色像差的光会聚,并且从测量头(200)利用该光照射测量对象(S)。在聚焦的同时被测量对象(S)的表面反射的波长的光穿过测量头(200)内的光纤(314)。穿过了光纤(314)的光被引导至处理装置(100)内的分光部(130),并且发生分光。在处理装置(100)中,由分光部(130)进行分光后的光被受光部(140)接收到,并且利用控制部(152)获取从受光部(140)输出的受光信号。控制部(152)基于所获取到的受光信号来测量位移,并且将该受光信号提供至外部PC(600)。PC(600)的CPU(601)将从在当前时间点之前的时间点获取到的受光信号向着在当前时间点获取到的受光信号的变化作为变化信息显示在显示部(700)上。
Public/Granted literature
- CN108474645B 共焦位移计 Public/Granted day:2021-02-23
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