基于多晶硅纳米线矩形阵列和纳米PN结的微型能量收集器
摘要:
本发明的基于多晶硅纳米线矩形阵列和纳米PN结的微型能量收集器,由光电池和热电能量收集器构成。光电池采用凝胶旋涂法制作ZnO薄膜得到纳米PN结,热电能量收集器由纳米线矩形单元矩形阵列而成,纳米线矩形单元采用深紫外光刻工艺得到纳米热电偶,与传统的热电光电能量收集器相比,多晶硅纳米线热导率远低于传统体材料,具有较高的热电转化效率;纳米热电偶对之间、纳米线矩形单元之间通过金线连线进行电器互联,光电池和热电能量收集器收集的能量通过热电输出pad和光电输出pad进行输出。所收集的能量最终存储在充电电池中,充电电池中的电能可以实现给无线传感节点的供电。
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