发明公开
- 专利标题: 基于多晶硅纳米线矩形阵列和纳米PN结的微型能量收集器
- 专利标题(英): Micro energy harvester based on polycrystalline silicon nanowire rectangular array and nano PN junction
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申请号: CN201810208008.5申请日: 2018-03-14
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公开(公告)号: CN108540044A公开(公告)日: 2018-09-14
- 发明人: 廖小平 , 严德洋
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- 代理机构: 南京苏高专利商标事务所
- 代理商 柏尚春
- 主分类号: H02S10/10
- IPC分类号: H02S10/10 ; H01L31/0224 ; H01L31/0352 ; H01L31/068 ; H01L35/10 ; H01L35/22 ; H01L35/32 ; B82Y40/00
摘要:
本发明的基于多晶硅纳米线矩形阵列和纳米PN结的微型能量收集器,由光电池和热电能量收集器构成。光电池采用凝胶旋涂法制作ZnO薄膜得到纳米PN结,热电能量收集器由纳米线矩形单元矩形阵列而成,纳米线矩形单元采用深紫外光刻工艺得到纳米热电偶,与传统的热电光电能量收集器相比,多晶硅纳米线热导率远低于传统体材料,具有较高的热电转化效率;纳米热电偶对之间、纳米线矩形单元之间通过金线连线进行电器互联,光电池和热电能量收集器收集的能量通过热电输出pad和光电输出pad进行输出。所收集的能量最终存储在充电电池中,充电电池中的电能可以实现给无线传感节点的供电。