发明授权
- 专利标题: 掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板
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申请号: CN201810454366.4申请日: 2018-05-14
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公开(公告)号: CN108559946B公开(公告)日: 2019-07-23
- 发明人: 韩冰 , 王徐亮 , 张玄 , 甘帅燕 , 高峰
- 申请人: 昆山国显光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
- 专利权人: 昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人: 昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 唐清凯
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; H01L51/50 ; H01L51/56
摘要:
本发明涉及一种主掩膜板、配合掩膜板及掩膜组件,该掩膜组件包括具有蒸镀区的主掩膜板,具有配合区的配合掩膜板,主掩膜板的有效蒸镀区与显示面板的显示区对应,配合掩膜板的第一配合区内布设有第一配合开口,第一配合开口在配合掩膜板上的正投影完全覆盖有效蒸镀开口在配合掩膜板上的正投影,且配合掩膜板的第二配合区遮挡主掩膜板无效蒸镀区内的无效蒸镀开口。上述掩膜组件中,主掩膜板上在异形的有效蒸镀区外开设无效蒸镀开口,可以平均有效蒸镀区边缘的应力,防止有效蒸镀区边缘因为受力不均而产生褶皱,提高蒸镀良率。同时,可以通过配合掩膜板上的第二配合区遮挡无效蒸镀区内的无效蒸镀开口,制得具有开槽区的异形显示面板。
公开/授权文献
- CN108559946A 掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板 公开/授权日:2018-09-21
IPC分类: