- 专利标题: 一种基于常压化学气相沉积的大面积单层二硫化钨薄膜的制备方法和产品
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申请号: CN201810084215.4申请日: 2018-01-29
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公开(公告)号: CN108559972B公开(公告)日: 2020-04-28
- 发明人: 石彪 , 王德强 , 周彪 , 冯双龙 , 查克.特里里 , 何石轩 , 谢婉谊 , 方绍熙 , 周大明 , 梁丽媛 , 周硕 , 唐鹏 , 王赟姣 , 殷博华
- 申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 申请人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 代理机构: 北京同恒源知识产权代理有限公司
- 代理商 赵荣之
- 主分类号: C23C16/30
- IPC分类号: C23C16/30 ; C23C16/44
摘要:
本发明涉及一种基于常压化学气相沉积的大面积单层二硫化钨薄膜的制备方法和产品,制备过程包括SiO2/Si衬底清洗、旋涂WO3无水乙醇分散液、衬底烘干处理、样品放置和二硫化钨薄膜生长,该方法通过旋涂WO3无水乙醇分散液使WO3前驱体均匀分散于衬底上,并在石英管生长腔室内放置单端封闭的小口径石英管,有效地控制S粉末和WO3前驱体参与成核和薄膜生长过程的用量,制得的二硫化钨薄膜面积大,呈单层,且尺寸大,该方法还具有快速,可重复的优点,对大面积单层二硫化钨薄膜的制备具有重要意义。
公开/授权文献
- CN108559972A 一种基于常压化学气相沉积的大面积单层二硫化钨薄膜的制备方法和产品 公开/授权日:2018-09-21
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