一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法
摘要:
本发明公开了一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法,包括标定容器、测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组,动态运转设备通过密闭的气体管路依次连通测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组,本发明使用分子泵及液氮冷阱,防止了装置自身产生油蒸汽等污染物,从而能够有效降低装置的放气本底;能够将动态运转设备中释放的气体全部收集至测试装置,并将可冷凝气体与非可冷凝气体分开进行收集,降低了收集装置内的升压速率,缩小测试装置的体积。
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