液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器
摘要:
本发明涉及一种液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器,包括两片各覆盖一层氧化铟锡ITO膜的玻璃,以及组装在两片玻璃之间的液晶,液晶厚度为1μm,两层ITO膜分别称为T1膜和T2膜,T1膜的膜厚为T1=970nm;在T1膜与玻璃之间还镀有厚度50nm的Au膜;在T1膜上制作有周期性排布的金属-电介质-金属型MIM纳米棒阵列;沿MIM纳米棒长轴方向周期为500nm,沿其短轴方向周期为300nm,每个MIM纳米棒单元的材料为Au-SiO2-Au,MIM纳米棒长度为125nm,宽度为50nm,上下两层Au厚度分别为30nm,中间SiO2厚度为20nm。
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