基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置

发明授权

摘要：

本发明公开一种基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置；该装置通过双层的力封闭式气浮结构，实现了二维的气浮支承与导向，并提高了单位气浮工作面上的转动刚度，最终通过结合精密驱动与反馈控制，达到高速、高加速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、悬臂长、转矩载荷大的二维运动基准装置。

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/20	.曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B27/00）