激光掺杂装置和半导体装置的制造方法
摘要:
激光掺杂装置具有:溶液供给系统,其对掺杂区域供给包含掺杂剂的溶液;脉冲激光系统,其输出透过溶液且包含多个脉冲的脉冲激光;第一控制部,其控制对掺杂区域照射的脉冲激光的脉冲数和掺杂区域中的脉冲激光的注量;以及第二控制部,其控制溶液的流速,以使得每次照射脉冲时在溶液内所产生的气泡从掺杂区域移开。
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