发明授权
- 专利标题： 靶材组件
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申请号： CN201810731551.3申请日： 2018-07-05
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公开(公告)号： CN108624856B公开(公告)日： 2024-06-25
- 发明人: 李静雅 , 白洋 , 孙良成 , 刘小鱼 , 娄树普 , 李慧 , 鲁飞 , 刘树峰 , 王峰 , 成宇 , 李德辉
- 申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 申请人地址： 内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号;
- 专利权人： 包头稀土研究院,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 当前专利权人： 包头稀土研究院,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 当前专利权人地址： 内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号;
- 代理机构： 北京康盛知识产权代理有限公司
- 代理商 张良
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35
摘要：
本发明公开了一种靶材组件，包括：靶体盖圈、中心靶体、冷却背板，靶体盖圈在中部设置有开口，在内侧设置有腔室；中心靶体设置在腔室内，靶体盖圈的底部固定在冷却背板上；中心靶体的底面与靶体盖圈的底面位于同一个平面；中心靶体位于开口的上平面与上端面构成溅射面。本发明能够改善溅射强烈区域靶材消耗过快的情况，解决了现有技术中靶材利用率低以及溅射不均匀的问题。
公开/授权文献
- CN108624856A 靶材组件 公开/授权日：2018-10-09
IPC分类:
