一种改善单晶太阳电池光衰问题的氢钝化工艺
摘要:
本发明公开了一种改善单晶太阳电池光衰问题的氢钝化工艺,利用太阳电池表面SiN:H膜层内的H,通过控制施加在电池上的电流、温度等因素,来调节硅基体内B‑O缺陷在高复合态与低复合态之间的转换量,同时利用电流来调节H对其的钝化量,达到一种新的稳定状态,这种状态不会因光照而回到高复合状态来影响电池效率,以此来实现单晶太阳电池效率降幅0.07%以内的情况下,标准光衰测试条件下,衰减率降低至1.5%以内。本发明工艺并不局限于单晶太阳能电池,也包括类单晶及多晶太阳能电池,且在多晶太阳电池上得到的光衰改善不会降低电池的光电转换效率;本发明所选择的工艺温度、电流及时间易于达到和控制,方法简单、效果明显、且可以兼容工业生产,具有较高的实用价值。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/04 .用作光伏〔PV〕转换器件(制造中其测试入H01L21/66;制造之后其测试入H02S50/10)
H01L31/042 ..单个光伏电池的光伏模块或者阵列(用于光伏模块的支撑结构入H02S20/00)
H01L31/043 ...机械堆叠的光伏电池
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