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发明公开
CN108642473A 一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口及其制备方法 有权

  • 专利标题： 一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口及其制备方法
  • 专利标题（英）： Infrared transparent window with electromagnetic shielding function and preparation method thereof
  • 申请号： CN201810486410.X
    申请日： 2018-05-21
  • 公开(公告)号： CN108642473A
    公开(公告)日： 2018-10-12
  • 发明人: 陈梓敏 , 王钢
  • 申请人： 中山大学
  • 申请人地址： 广东省广州市海珠区新港西路135号
  • 专利权人： 中山大学
  • 当前专利权人： 中山大学
  • 当前专利权人地址： 广东省广州市海珠区新港西路135号
  • 代理机构： 广州圣理华知识产权代理有限公司
  • 代理商 顿海舟; 李唐明
  • 主分类号： C23C16/40
  • IPC分类号： C23C16/40 ;  H01B5/14 ;  H01B13/00
一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口及其制备方法
摘要：
本发明提供了一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口的制备方法，所述窗口由蓝宝石衬底及其上方的氧化物膜叠层共同构成。所述蓝宝石衬底双面抛光、厚度100～10000μm，所述氧化物膜包括锡掺杂氧化铟(ITO)、铝掺杂氧化锌(AZO)、镓掺杂氧化锌(GZO)、氟掺杂氧化锡(FTO)中的一种或者多种的叠层，总厚度0.2～200μm，平均电子浓度不高于5×1019cm-3。所述红外透明窗口0.78～2.5μm波长范围内最低透过率为82％、2.5～5μm波长范围内最低透过率为53％，方块电阻低于100Ω/sq，对1～18GHz电磁波的屏蔽效率大于10dB。
摘要（英）：

The invention provides a preparation method of an infrared transparent window with an electromagnetic shielding function. The window is formed by jointly stacking a sapphire substrate with an oxide film on the sapphire substrate. Two sides of the sapphire substrate are polished; the thickness of the sapphire substrate is 100-10000 microns; the oxide film comprises a stacked layer composed of one or more of tin-doped indium oxide (ITO), aluminum-doped zinc oxide (AZO), gallium-doped zinc oxide (GZO) and fluorine-doped tin oxide (FTO); the total thickness of the oxide film is 0.2-200 microns; the average electron concentration of the oxide film is not higher than 5 multiplied by 10 to the power of 19 cm<-3>. According to the prepared infrared transparent window, the minimum transmittance rate in a wavelength range of 0.78-2.5 microns is 82%, the minimum transmittance rate in a wavelength range of 2.5-5 microns is 53%, the square resistance is less than 100 Ohm/sq, and the shielding efficiency of electromagnetic wave at 1-18GHz is greater than 10dB.

公开/授权文献
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