一种控温控压样品台及温压控制系统
摘要:
本发明提供一种控温控压样品台及温压控制系统,温压控制系统中的控温控压样品台包括压力罩、导热体和显微镜载物台,导热体顶部设有样品槽,样品槽的底部从上至下分布着温度传感器和加热电阻,导热体内设有传送冷质的管线,管线绕样品槽设置,压力罩扣设于样品槽之上以为样品槽提供高压。温压控制系统包括冷源、连接压力罩的高压弹簧软管和控制器,管线的两端分别连接冷源和一冷质泵,控制器连接温度传感器、冷质泵和加热电阻;高压弹簧软管的一端分为四条支路,一条连接真空泵,用于抽走压力罩内的气体,一条连接高压气源,用于向压力罩注入气体,一条连接截止阀,一条连接背压阀,用于使压力罩的气压小于背压阀的设定值。
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