传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置
摘要:
本公开提供一种传送装置,该传送装置包括至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件。所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫,所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫;所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强,所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。本公开通过改变传送部件的和被传送物接触部分(例如,第一承载垫和/或第二承载垫)的材料的相对得电子和失电子的能力,在保证摩擦力足够大的情况下,减少静电带来的不利影响,从而可以加快被传送物被传送的速率,提高生产效率,同时还可以提高产品的良率。
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