- 专利标题: 形成三维存储器的下部半导体图案的方法以及三维存储器
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申请号: CN201810489031.6申请日: 2018-05-21
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公开(公告)号: CN108666318B公开(公告)日: 2019-06-07
- 发明人: 石晓静 , 王健舻 , 曾明 , 耿静静 , 许宗珂 , 朱九方
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 骆希聪
- 主分类号: H01L27/11524
- IPC分类号: H01L27/11524 ; H01L27/11551 ; H01L27/1157 ; H01L27/11578
摘要:
本发明涉及一种形成三维存储器的下部半导体图案的方法以及三维存储器。该方法包括以下步骤:提供半导体结构,所述半导体结构具有衬底和位于所述衬底上的堆叠层,所述堆叠层包括交替堆叠的多个第一材料层和多个第二材料层;形成垂直贯穿所述堆叠层且到达所述衬底的多个沟道孔;通过所述多个沟道孔去除所述衬底中的杂质,所述去除步骤形成从所述多个沟道孔侧壁向所述衬底侧向凸伸的缺口;以及在所述多个沟道孔底部形成带有掺杂剂的半导体材料作为下部半导体图案,所述半导体材料填充所述缺口。本发明可以提高三维存储器的底部选择栅的阈值电压的均一性。
公开/授权文献
- CN108666318A 形成三维存储器的下部半导体图案的方法以及三维存储器 公开/授权日:2018-10-16