本发明提供一种多晶电介质薄膜，其中，主成分由通式(M(1)1‑xM(2)x)(M(3)1‑yM(4)y)(O1‑zNz)3所表示的氧氮化物构成。0≦x≦1、0≦y≦1、0＜z＜1/3。M(1)、M(2)、M(3)及M(4)的形式化合价的总和是14。氧氮化物的晶体结构包含由中心原子、2个4a位原子及4个8h位原子构成的八面体结构。中心原子是M(3)或M(4)。4a位原子是O原子或N原子。8h位原子是O原子或N原子。在八面体结构中，在将连结2个4a位原子的直线和所述晶体结构的c轴方向所成的角设为θ的情况下，0.5°≦θ≦12°。